Author(s): Herman Soemers
Nauwkeurig kunnen manipuleren van kleine objecten in het sub-micronbereik is van groot belang voor toepassingen als dataopslag, microassemblage en elektronenmicroscopie. Het daarvoor benodigde systeem - bestaande uit sensoren, actuatoren, mechanische onderdelen en regeltechniek - wordt echter steeds groter. In dit IOP-project onderzocht de Universiteit Twente de mogelijkheden van MEMS-procestechnologie om een micromanipulator met zes graden van vrijheid te realiseren voor een microstage in een transmissie elektronenmicroscoop. Het project heeft geresulteerd in een groot aantal ontwerpprincipes voor nauwkeurige mechanismen in MEMS, MEMS-technologieën voor robuuste elastische mechanismen en een verbeterd ontwerp van MEMS-actuatoren. Er zijn twee oplossingen uitgewerkt en uitgevoerd in MEMS. Een vervolgproject. mede gefinancierd door Point-One, wordt uitgevoerd door de Universiteit Twente, Demcon en FEI Electron Optics.